Messtechnik für Inertialsensoren

Im Zuge der fortschreitenden Miniaturisierung von mechatronischen Systemen liegen kleine und leichte inertiale Messeinheiten im Fokus der Entwicklung, welche mehrere Sensoren zu einem Sensorcluster vereinen um Drehraten und Beschleunigungen in allen Raumrichtungen zu erfassen.
Die Charakterisierung dieser mehrachsigen Inertialsensorsysteme stellt vergleichsweise hohe Anforderungen an die zugrundeliegende Messtechnik. So müssen alle Bewegungen hochpräzise ausgeführt werden, da selbst kleine Regelschwingungen von den vermessenen Sensoren detektiert werden können. Die Achsen müssen präzise zueinander ausgerichtet sein, um ein Auftreten von Achsquerempfindlichkeiten zu vermeiden.
Neben 6“ Waferprobern, 1-Achsen-Drehtischen mit Temperaturkammer oder Vakuumkammer und diversen Kalibrierschwingern steht dem HSG-IMIT als einem der wenigen unabhängigen Forschungseinrichtungen in Europa,  als Messequipment seit Anfang 2007 ein 3-Achsen-Drehtisch mit integrierter Temperaturkammer, mit welchem simultane Drehbewegungen in allen drei Raumrichtungen bei gleichzeitiger Kontrolle der Umgebungstemperatur durchgeführt werden können, zur Verfügung.
Aufgrund der applikationsspezifisch automatisierten Messabläufe können Charakterisierungen von Sensorsysteme zeitoptimiert durchgeführt werden.
Gerne entwickeln wir für Ihre Sensorsysteme geeignete Messabläufe und charakterisieren für Sie Ihre Produkte.

Netzwerke & Kooperationen:

• Acutronic