Strömungssensoren

Die Basiskomponente unserer thermischen Strömungssensoren ist ein mikrotechnischer Siliziumchip mit einer dünnen, typischerweise 300 x 600 µm² großen Siliziumnitrid-Membran die Temperatursensoren (Thermoelemente) und ein Heizelement enthält. Zum Messen wird mithilfe des Heizelements Wärme ins Medium abgegeben. Die auf beiden Seiten des Heizelements angeordneten Thermoelemente erfassen hochdynamisch die resultierende Temperaturverteilung. Diese ändert sich, wenn Gase oder Flüssigkeiten über die Membran strömen. Damit kann sowohl die Richtung als auch die Strömungsgeschwindigkeit des Fluids ermittelt werden.

Mit dieser Technologie lassen sich preiswert sehr empfindliche Strömungssensoren herstellen. Wir verfügen über alle notwendigen Kompetenzen und die entsprechende Infrastruktur um applikationsspezifische Sensorlösungen schnell und kostengünstig bis zur Überführung in die Serie zu entwickeln:

  • Layout, Technologieentwicklung und Herstellung von Sensorchips
  • Konstruktion und Prototyping von Sensorgehäusen
  • Aufbau- und Verbindungstechnik
  • Hard- und Softwareentwicklung zur Sensoransteuerung und Signalauswertung
  • Messtechnik vom Entwicklungsmessplatz bis zur automatischen Kalibrierung
  • Herstellung von Siliziumchips im eigenen Reinraum auch für größere Stückzahlen
  • Überleitung der Aufbautechnologie zu Herstellerfirmen
Ihr Ansprechpartner:
Dipl.-Ing. Matthias Ashauer
+49 7721 943 - 229
+49 7721 943 - 210
matthias.ashauer@hsg-imit.de
Kundenspezifischer Strömungsensor