Flexible Mikrosysteme

Am HSG-IMIT werden derzeit Technologien zur Herstellung flexibler Mikrosysteme (FLEMS) etabliert. Die bestehende Siliziumtechnologie wird dabei um Prozesse zur Bearbeitung und Verbindung flexibler Materialien wie z.B. Polyimiden, Epoxydharzen (SU-8) oder Parylenen erweitert.

Durch den Einsatz dieser kostengünstigen Materialien - vor allem als Träger mikrostrukturierter Systeme - können am HSG-IMIT Produkte für sehr preissensitive Märkte entwickelt und hergestellt werden. Außerdem wird unter Nutzung der mechanischen Flexibilität der Integrationsgrad neuer Mikrosysteme deutlich erhöht und damit deren Anwendungsfeld erweitert.