Taupunktsensor

Unser mikrotechnisches Sensorsystem arbeitet nach dem Kondensationsprinzip und ermittelt die Taupunkttemperatur, die ein direktes Maß für den absoluten Feuchtegehalt eines Gases ist. Die Basiskomponente ist ein mikrotechnisches Siliziumchip mit einer dünnen, 600 x 600 µm² großen Membran, die ein Heizelement sowie Temperatursensoren enthält und mittels Peltierelementen gekühlt werden kann. Beim Erreichen der Taupunkttemperatur bildet sich Kondensat auf der Membanoberfläche. Dies wird durch zyklisches Heizen und Auswerten der resultierenden Temperaturverteilung detektiert. Die Bestimmung der entsprechenden Temperatur (Taupunkttemperatur) erfolgt über einen im Siliziumchip integrierten Absoluttemperatursensor. Unser Sensorsystem, das auch als Feuchtesensor eingesetzt werden kann, hat die folgenden typischen Eigenschaften:

  • Max. Taupunktabstand:   40 K
  • Temperaturbereich:        -40°C … +80°C
  • Messgenauigkeit:           < +/- 0,5 K
  • Druckfestigkeit:              je nach Ausführung bis 16 bar
  • Leistungsaufnahme:       typ. 2 W
  • Messungen bis 100% r.F. möglich, unempfindlich gegen Durchfeuchtung
  • Gute Integrierbarkeit in technische Anlagen

Die Sensorsysteme eignen sich für vielfältige Anwendungen und können applikationsspezifisch angepasst werden.

Ihr Ansprechpartner:
Michael Kunze
+49 7721 943 - 209
+49 7721 943 - 210
michael.kunze@hsg-imit.de
Taupunktmesssonde IST-4