Wafertechnologie

Das HSG-IMIT produziert im eigenen Reinraumlabor mit der Bulk-Silizium-Mikromechanik. Dieses Verfahren verändert Siliziumwafer in ihrer Dicke und arbeitet die Bauteile eines geplanten Sensors oder Fluidikelements schichtweise aus der Oberfläche des Materials heraus. Erfahrung in der speziellen Prozesstechnik und der Präzisionsgrad dieses Verfahrens führen zu schnellen, zuverlässigen Ergebnissen bei der Entwicklung und Herstellung von Mikrosystemtechnik.

 

 

Ihr Ansprechpartner:
Dipl.-Phys. Peter Nommensen
+49 7721 943 - 225
+49 7721 943 - 210
peter.nommensen@hsg-imit.de